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電漿清洗技術運用：半導體的檢驗、審查與量測

... 有許多獨特的功能，專為半導體設備產業的需求所設計。其全自動化設計可以無縫的整合到電子束檢視(EBR)、電子束檢測(EBI) 和CD-SEM 的機台操作中。

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