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ASML關鍵量測機台的誕生#WeChallenge - Facebook

在2000年代早期，「量測」（Metrology）並不是新的技術，半導體製造商在當時已經使用光學系統偵 ... 當時Arie組裝了第一台光學量測樣本機台，這部儀器就是YieldStar。

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