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半導體退火目的
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半導體人必須知道的100個專業名詞解釋 - 每日頭條
又稱退火:也叫熱處理,集成電路工藝中所有的在氮氣等不活潑氣氛中進行 ... 軟烤(Softbake):其使用時機是在上完光阻後,主要目的是為了將光阻中的溶劑 ...
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「半導體退火目的」
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