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高溫真空退火爐/高溫真空氧化爐/高溫真空還原爐

過程為將元件加溫到某個高於再結晶溫度的一點並維持此溫度一段時間，再將 ... 在半導體工業中，矽晶圓需要進行退火，因半導體摻入雜質如硼、磷或砷等 ...

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