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光阻去除灰化製程腔體系統

變感耦合式金屬薄膜蝕刻製程腔體(TCP Metal Layer Etch Chamber)一組，有獨立控制上電極與下電極之輸出功率，主要蝕刻項目材料為邏輯製程蝕刻等Metal Pad,Metal Line結構 ...

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