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半導體製程
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In The End, — 半導體製造過程—前段製程與後段製程概要==...
近來,又有將前段製程細分為(1)在矽晶圓上做出各種元件的FEOL、(2)在各個元件之間做出連接用金屬佈線的BEOL,分為兩大製程。隨著在邏輯類半導體多層佈線 ...
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