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半導體晶圓用濺鍍靶材-沒有它...晶圓產業應該可以收工了! | 方格子

... 讓靶材表面的原子一層一層地沉積在半導體晶片的表面上，然後薄膜刻蝕成nm ... 目前製作靶材所用的靶胚之SPD的製程有徑向鍛造(Radial Forging)、軋 ...

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