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半導體製程薄膜
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理學院108 學年度第一學期模組化課程
半導體薄膜 蒸鍍技術與檢測分析 ... 本課程介紹薄膜蒸鍍技術原理,強調薄膜製作技術,並強化相關薄膜檢測及分析技術。課程內 ... 了解真空鍍膜在半導體製程中扮演的角色.
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