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半導體製程薄膜
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https://concords.moneydj.com/z/glossary/glexp_4127.djhtm
三氟化氮(NF3)在半導體及TFT-LCD製造的薄膜製程中扮演 ...
在半導體中,薄膜製程的主要設備是「化學氣相沉積」(CVD)機台,會在晶圓片上長出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金屬材料,但這些材料不僅會附著在晶片 ...
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