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半導體化學氣相沉積膜厚之預測使用神經網路 - CHUR

方裡的製程參數沉積出所需的薄膜厚度。而薄膜厚度的品質也會影響後續製. 程的能力與限制，並進一步的影響到產品的變異，導致良率降低。在目前的. 半導體廠中對於膜厚的 ...

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