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半導體製程

自1947年發明電晶體迄今，半導體元件的特性及半導體製程技術都獲得有長足的改良與 ... 薄膜沉積：利用化學反應或物理性的撞擊沉積源的方式，在晶圓表面上沈積薄膜。

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