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晶圓的處理－薄膜

處理製程. • 氧化. • 化學蒸氣沉積. • 濺鍍. • 擴散. • 離子植入. 蒸發. • 蒸發. • 熱處理. Page 6. 氧化（oxidation）. • 熱氧化法. • 薄膜堆積法：使用化學蒸氣沉.

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