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光電半導體主動元件與被動元件的製程技術 - 台灣儀器科技研究 ...

將經過曝光和烘烤的光阻層，浸入適當的顯影. 液進行顯影的步驟，以便將光罩所轉移的圖形顯現. 於光阻層中。 (7) 硬烤. 光阻經過顯影，在完成微影的流程而送往下一. 個製程 ...

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