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半導體製程污染
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「純淨」是7奈米以下IC製程節點成功關鍵 - 電子工程專輯
提供晶圓廠專用特殊化學品、先進材料,以及半導體生產線污染控制、晶圓輸送等解決方案的美商英特格(Entegris),則是將「純淨」的範圍更進一步擴大, ...
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