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國內半導體製造業及光電業之產業現況、 製程廢氣污染來源與 ...

兩者對於排放總量的貢. 獻程度大約在50~80%左右，其餘則依各工廠製程差異，而產. 生不同的污染物，如2-丁酮、甲苯、二甲苯、乙酸丁酯、. Propylene glycol monomethylethyl ...

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