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半導體製程設備, 4/e 書籍資訊 - CoderBridge

半導體 元件由矽土製成矽晶圓， 再經數百個製程步驟，才製作出256M級的DRAM。這期間所使用的機器，主要的也不過十數種。晶圓成長爐、磊晶反應器、步進 ...

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