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(12)發明說明書公告本

本發明提出了一種用以形成特定圖形特徵的半導體製程,其步驟包含:在一基底上形成一目標. 層、一硬遮罩層、以及複數個等間隔排列的內核體,於該些內核體的側壁形成間隙壁 ...

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