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光電科技研究所 - 國立臺灣師範大學

製程 的關鍵技術，就是「微影技術」，也是半導體製作流程中最關鍵 ... 製程步驟減化製作出低溫多晶矽的奈米線，再透過離子佈植與低溫退. 火方式形成元件，用以模擬生物 ...

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