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半導體製程步驟
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晶圓(Wafer)
是指矽半導體積體電路製作所用的矽晶片,由於其形狀為圓形,故稱為晶圓。 ... 晶圓經多次光罩處理,其中每一次的步驟包括感光劑塗佈、曝光、顯影、腐蝕、滲透、植入、 ...
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