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半導體製程概論ptt
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半導體製程技術
半導體製程 技術. IC x13000times ... 磊晶矽薄膜的純度高、缺陷少、性質佳,但其製程溫度最高、難度最高,因此在元件應用上. 有其限制,一般用在積體電路製程最前段。
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