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半導體製程技術

矽晶中一般均須加入電活性雜質原子(如三價的硼，五價的砷或磷) ，來控制半導體，形成P、N. 接面電晶體。摻入雜質的方法包括擴散法及離子佈植法。離子佈植法因在雜質濃度、 ...

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