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半導體製程概論pdf
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https://jupiter.math.nycu.edu.tw/~weng/courses/IC_2007/PROJECT_NCTU_MATH/process/c93_t2_final.pdf
半導體製程簡介
IC的製作過程,由矽晶圓開始,經過一連串製程步驟,. 包括光學顯影、快速高溫製程、化學氣相沉積、離子. 植入、蝕刻、化學機械研磨與製程監控等前段製程,. 以及封裝、測試 ...
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