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半導體製程技術pdf
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第3類半導體晶片怎麼做?基板難在哪?圖解生產流程 - 數位時代
出於成本考量,加上與互補式金屬氧化物半導體(CMOS)製程相容,現階段主流的氮化鎵技術是將氮化鎵磊晶長在矽之上的矽基氮化鎵(GaN on Si)方案。
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