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半導體製程技術pdf
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半導體製程簡介
以IC的製程技術而言,其單一線路寬度可細小至20nm以下,如圖13-3為IC製程尺度。 一、概述. 2.無塵室. 回目次. 13-1 半導體製程簡介. 課本P.269.
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