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爐管氮化矽均勻度改善之研究Study on Improvement of ...

在現今半導體業中，隨者製程技術的日益進步，產品更趨近於輕薄 ... 薄膜沉積技術分為兩個方向：物理氣相沉積（PVD）；化學氣相沈積（CVD）.

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