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半導體製程技術pdf
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第一章晶體性質與半導體成長
將矽原料石英岩以冶金技術提煉純度約為98%之矽材料 ... 1.1 半導體元件是資訊技術的核心。元素型半導體,例如 ... 目前積體電路之製程技術,除了作絕緣阻隔.
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