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半導體製程原理 - 電子歷程e-Portfolio

其製程主要包含:(1). 薄膜沉積,(2)微影,(3)蝕刻,(4)摻雜,(5)氧化等。本文的主要目的在探討並歸納積. 體電路的製程原理及其製造技術。 壹.

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