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光電半導體主動元件與被動元件的製程技術

利用半導體技術開發小體積、模組化的光電元件，以方便使用及降低量產成本。本文將介紹. 光電半導體主動及被動元件的核心製造技術，包含了薄膜沈積、黃光微影製程、乾濕蝕刻 ...

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