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半導體 產業現況. 2. 晶圓製程技術簡介. 3. 基本電子元件和製程概論. 4. 晶圓生產技術和磊晶成長. 5. 熱製程. 教科書. 半導體製程技術導論(第三版). 作者：蕭宏.

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