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ASML 第二代EUV 曝光機開發傳瓶頸 - 科技新報

極紫外光曝光機（EUV）目前是先進半導體製程，不論DRAM 或晶圓代工生產 ... 外電報導指出，日本最大半導體鍍膜極蝕刻設備公司東京電子（東京威力科 ...

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