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【进步】中微5nm蚀刻机已获台积电认可 - 闪德资讯

中微半导体主要的业务是蚀刻机、MOCVD等设备，它们与光刻机一并被称为半导体工艺三大关键设备。 根据台积电的工艺路线图，2020年Q3季度就要试产5nm工艺了，这一代工艺 ...

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