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ULVAC推出蝕刻線寬45-65nm之蝕刻機

日本真空公司(ULVAC)將於今年春推出因應下一代半導體電路線寬45~65nm的蝕刻機。運用化學反應較慢的電漿(Plasma)，可以在矽晶圓上形成精密的電路。該蝕刻機一台售價1億6 ...

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