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晶圓電漿蝕刻機上電極Silicon, AC-140S系列, 日清紡 - 清隆企業 ...

利用獨創的氣孔鑽鑿技術，可降低粉塵顆粒的發生; 藉增加電極厚度或製造小孔徑氣孔以延長使用壽命. 主要用途: 半導體製程電漿蝕刻用.

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