課程名稱: 【科管局補助】薄膜製程原理. 課程內容: 1.薄膜沈積原理2.電漿在半導體製程之應用3.物理氣相沈積原理(包含各種蒸鍍與濺鍍) 4.LPCVD、PECVD、CVD原理等5.
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