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[轉錄]名詞解釋：NF3 (這篇薄膜製程講得不錯)

名詞解釋：NF3 王仕琦三氟化氮（NF3）在半導體及TFT-LCD製造的薄膜製程中扮演「清潔劑」的角色， 不過這類清潔劑是氣態，而非液態。

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