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天虹科技ALD設備獲晶電採用為台灣第一家被量產的ALD薄膜 ...

文/葉圳轍台灣半導體關鍵製程設備國產化再添喜訊；天虹科技突破國產高階半導體設備自製瓶頸，擺脫長期仰賴國外設備的困境，成功開發的原子層沉積ALD ...

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