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關鍵詞(Keywords) - 工業技術研究院

Deposition, CVD)是利用化學反應於晶圓表面成. 長半導體薄膜的一種方法。此項技術已廣泛應用. 在發光二極體製造、半導體、與太陽能電池等光. 電元件的薄膜製程上。

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