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第9 章薄膜製作9-1 氧化法9-1-1 矽的氧化

沈積在矽晶片表面上的一種薄膜沈積技術。 • CVD法在VLSI 製程裡的應用，可說是範圍最大，薄. 膜材質種類最多，而且沈積技術的多樣性也最為龐大. 的一種半導體薄膜沈積 ...

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