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複合薄膜製程及多層膜特性分析技術 - 機械工業網

使用快速交替式反應性磁控濺鍍系統，對製備用於光學多層膜濾光片所需之氮化矽及氮氧化矽薄膜，之製程參數進行分析研究，可得於穩定的製程條件下之氮化矽及 ...

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