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科林開發EUV光阻劑薄膜技術可望獲韓半導體廠青睞 - 電子時報

美國科林研發(Lam Research)開發出利用化學反應製造極紫外光(EUV)光阻劑薄膜的新技術，比在晶圓上塗抹液態光阻劑成本更低，但有更高解析力(resolving ...

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