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半導體薄膜技術
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淡江大學機構典藏
题名: 半導體薄膜沉積成長過程之動力蒙地卡羅方法探討 ... 摘要: 薄膜技術在現代的材料科學中佔有重要的地位,在許多高科技元件製程中薄膜成長條件之 ...
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