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真空薄膜技術研究發展

備需求亦成為真空薄膜技術持續發展之重要載具。 先進薄膜材料製程與真空設備研發可依四項重. 要概念說明之，首先為半導體元件線寬日益縮減. 與奈米科技發展所需之高深 ...

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