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薄膜製程技術pdf - Pisani

大型積體電路(IC)的薄膜積層製程，沒有此項技術在背後支援恐怕也無法實現。此外，1970年成功開發出室溫型半導體雷射後，也開拓了化合物半導體磊晶結晶新薄膜成形技術的 ...

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