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薄膜沉積半導體 - Omarw

PDF 檔案. 原子層沉積技術(atomic layer deposition, ALD) 是當今半導體製程中非常受到重視與仰賴之奈米超薄膜(ultrathin film) 沉積技術。 ALD 製程技術可以將奈米超 ...

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