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半導體薄膜技術
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本書全面系統地介紹了半導體薄膜的各種制備技術及其相關的物理基礎,全書共分十一章。 章概述了真空技術,第二至第八章分別介紹了蒸鍍、濺射、化學氣相沉積、脈沖激光 ...
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