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薄膜沉積技術 半導體製程中所稱的薄膜，是指厚度在1μm以下 ...

由於是外來的沉積，即有發生污染的可能，一直以來令人擔心是否會影響高純度矽基板及其電子特性。 ◇ 從LSI時代起，薄膜沉積技術正式引進半導體製程。到了1970年代初期， ...

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