半導體薄膜技術 與物理 ; 圖書目錄. 第1章真空技術. 第2章蒸發技術. 第3章濺射技術. 第4章化學氣相沉積. 第5章脈衝雷射沉積. 第6章分子束外延. 第7章液相外延. 第8章濕化學 ...
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