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越薄越好，3D薄膜製程大挑戰：淺談原子層沈積技術

台灣半導體製造業位居全球重要地位，也是台灣重要的產業發展項目，隨著技術演進，元件尺寸越來越小、結構越來越複雜，傳統薄膜製程技術(PVD, CVD) 漸漸無法滿足這些 ...

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