半导体 制程简介(PPT61)-经营管理【PPT课件】. 2020-09-21 14:17:23 本页面. 【导读】SiHCl3多晶矽棒3-7cm塊狀矽塊(…矽金屬及摻雜質的融化。防止晶圓邊緣碎裂。
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