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第一章晶體性質與半導體成長

在超大型積體電路(Ultra Large-. Scale Integration， ULSI ) 中作為隔離兩層導 g. ) 電層或掺質層，作為電容使用或作為晶圓最外. 層之保護層防止濕氣或污染物侵害元件.

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